主要特点:
[光伏级 ]碳化硅炉管 超大的内径尺寸和长度,极高的热稳定性,耐腐蚀,能够有效适配新-代光伏设备装载系统,极大提高了光伏设备炉内腔体的长期使用稳定性。
[半导体级]碳化硅炉管纯度高、耐高温、长期使用稳定性好,具有高纯碳化硅材料薄膜,避免了杂质引入,减少了制备工艺中对设备环境的污染,适用于高清洁度要求的工艺制程。
应用范围:
适用于光伏电池片、半导体晶圆、纳米材料等生产相关工艺过程使用的高温炉腔体部件。
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主要特点:
[光伏级 ]碳化硅炉管 超大的内径尺寸和长度,极高的热稳定性,耐腐蚀,能够有效适配新-代光伏设备装载系统,极大提高了光伏设备炉内腔体的长期使用稳定性。
[半导体级]碳化硅炉管纯度高、耐高温、长期使用稳定性好,具有高纯碳化硅材料薄膜,避免了杂质引入,减少了制备工艺中对设备环境的污染,适用于高清洁度要求的工艺制程。
应用范围:
适用于光伏电池片、半导体晶圆、纳米材料等生产相关工艺过程使用的高温炉腔体部件。